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日本ULVAC愛發科螺桿型干泵MS1200A北崎熱賣

更新時間：2025-08-19      瀏覽次數：40

螺桿型干泵Model:MS

特點


  • 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。

  • 采用ULVAC設計的轉子軸，實現高性能的排粉。

  • 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區域連續運行。

用途



  • 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。

  • 真空熱處理爐真空排氣系統，如燒結爐、滲碳爐等。

  • 鋰電池制造設備真空排氣系統，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。

  • 醫療食品設備相關的真空排氣系統，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。


規格


型式MS120AMS600AMS1200A
最大排氣速度 *1m3/h115560980
到達壓力Pa≦0.6≦0.1
電源電壓200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10%
消費電力概略值 *2kW2.43.13.1
冷卻水量L/min>4.0
Purge gas量 *1SLM0~50
最大水蒸氣處理量 *1*3kg/h1.5
噪音值　*1dB(A)616264
吸氣口KF50(Horizontal) / VG50(Vertical)ISO-F-80ISO-F-100
排氣口KF40
質量 *4kg139241264
適用規格CE、cTUVus
標準附屬品Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer
本體選配件Power supply：200V Class or 400V Class
Material of seal：FKM or FFKM
外部選配件Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve

*1：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的最大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer


排氣速度曲線

  • MS120A
    ms120a_curve.png

  • MA600A
    ms600a_curve.png

  • MS1200A
    ms1200a_curve.png







電話：TEL

86-010-67868591

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